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溅射型应变式合金薄膜压力传感器

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
1、任务的来源与背景
本项目来源于“武汉市科技计划项目”，其编号是“武计科2000-4”。国内对高精度高性能传感器需求量很大，主要依赖于进口。本项目产品立足于取代进口产品。
2、技术原理与性能指标
　　技术原理：溅射型应变式合金薄膜压力传感器采用了先进的氮化离子流复合成膜技术和集成电路微细图形的加工技术，将惠斯登电桥的四个应变栅片直接依附...
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