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双面YBCO高温超导薄膜的两面同时溅射沉积技术

2001年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　本项目自1996年作了前期探索研究后于1998年由四川省优秀青年基金（JSA5081）开始对双面YBCO高温超导薄膜两面同时溅射沉积技术进行研究。双面YBCO高温超导薄膜制作的微波器件性能大大优于常规金属制作的器件，因此在移动通信基站上有良好的应用前景。
　　本项目采用倒筒靶直流溅射、辐射加热、基体旋转实现两面同时均匀地沉积、YBCO高温超导薄膜、在10×10平方毫米、7×15平方...

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