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高能离子渗镀梯度功能材料

2002年 应用技术
  • 成果简介
该项成果是将被加工件以及靶材一同放入阴极桶内，阴极桶置于真空室内，用真空泵将真空室抽至101Pa后，通入20～30Pa的氩气，氩气在电场作用下产生电离，形成辉光放电。随着电流增加，阴极桶内工件的温度也不断增加，当工件温度升至1000℃时，在空心阴极效应和氩离子的轰击作用下，靶材原子脱离其表面而发生电离，在电场作用下向阴极表面运动，形成高能离子，在阴极工件表面富集成一定浓度的靶材原子。在普通钢或低合...
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