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用于污水处理的金刚石薄膜技术

2003年 应用技术
  • 成果简介
由于复合多晶金刚石薄膜的特殊的高氧化过电位特性,使得它可以作为新型电极,用于产生过氧化酸、过氧化氢、臭氧、次氯酸等强氧化材料。该项技术的关键在于纳米级多晶金刚石在硅片上的沉积技术与薄膜涂覆技术,要求在纳米级的金刚石薄膜表面不产生高于微米级的微孔,要求在多晶金刚石表面涂覆的硼、氮、锆等微米级薄层十分均匀,同时,对中介介质与电场控制也有较高的要求。涂覆在以硅片为基体的多晶金刚石表面的硼、氮、锆等纳米级...
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