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硅集成微型加速度计

2003年 应用技术
  • 成果简介
该加速度计采用硅梁压阻桥式结构，其关键技术为：① 硅梁结构的制备；② 低失调压阻电桥的制备；③ 传感器硅芯片封装技术：包括质量块粘接技术，最佳阻尼技术等；④ 传感器温度补偿技术与信号的放大技术。...
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