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金属有机物化学气相沉积设备

2003年 应用技术
  • 成果简介
项目介绍：这是一种当今国际先进的半导体晶体材料生长设备，它是利用金属有机物为原料，在单晶衬底上外延生长各种器件结构材料，如太阳能电池、半导体激光器、发光管、各种微电子器件、探测器等材料，该设备微机全自动控制。该设备为高科技产品。含有该所的专利技术，技术水平在国内领先达到国际90年代先进水平，国内尚无其它单位制造。主要技术指标：设有12路流量控制管路，一路N_2气旁路，七路源，可以生长大部分Ⅲ-Ⅴ族...
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