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多功能离子束增强沉积设备

2003年 应用技术
  • 成果简介
多功能离子束增强沉积设备是采用离子束增强沉积原理，在物质表面沉积各种薄膜，达到材料表面改性的目的，使处理过的产品既具有基本材料的优点，又能由此获得各种所需的特殊性能，如耐磨、耐蚀、耐高温，对各种射线的辐射、吸收、反射能力、超导、储能等等，该设备用于制备沉积各种合金膜、氧化膜、功能膜、硬质膜、多层膜和梯度膜等。 ...
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