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薄膜材料制备工艺及设备

2003年 应用技术
  • 成果简介
材料科学是当今世界各国专家学者都极为关注的高新技术学科,如何获得制备和生产新型的薄膜材料,是21世纪世界材料学科发展的重要方向。该中心研制开发生产的分子束外延、磁控溅射镀膜、激光镀膜等薄膜制备工艺及设备,广泛用于制备光电材料、电子材料、磁性材料、能源材料等,为中国薄膜材料事业的蓬勃发展做出了突出贡献,多次获得国家、部、院的嘉奖。为促进中国薄膜材料的发展,该中心愿与国内从事该项研究的单位合作,共同开...
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