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气体质量流量计

2003年

应用技术

成果简介

质量流量计(MFM)是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量。气体质量流量单位一般以SCCM和SLM来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟的标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其他流量计的重要区别，也是SCCM、SLM不同于mL/min、L/mi...

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