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CYG161、162系列中高温压力传感器

2003年

应用技术

成果简介

普通的压阻式压力传感器电桥四电阻是用集成电路工艺制造的，电阻间以PN结自隔离。由于PN结的耐温限制，其最高可使用温度在+100-+120℃，且此时性能已大大劣化，而不少特殊应用环境和工况要求更高的使用温度。这两个用于较高温度范围的压力传感器系列是利用陶瓷厚膜敏感元件和多晶硅敏感元件开发的。主要技术性能参数：标准量程：0-40kPa……0-40MPa全范围可选，150%过载能力。零位及满量程输出：V...

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