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CYG163、164、165系列高温压力传感器

2003年

应用技术

成果简介

用先进的SOI技术、SOS技术及β相碳化硅敏感材料开发的这三个高温压力传感器系列是该所承担的国家九五科技攻关项目“SOI高温压力传感器”、“油井用高温高压传感器”的成果产品，适用于航空航天、能源运输、石油勘采、化工热工自动化、冶金自动化等广泛领域。高温动态压力的测量、控制与计量，可替代进口产品。具有极优的性能价格比。主要技术性能参数：标准量程：CYG163：0-10kPa……0-40MPa全范围可...

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