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CYG1300系列中高温压力传感器

2003年 应用技术
  • 成果简介
这是用先进的微机械加工技术和MEMS技术开发的各类介质隔离型压阻力敏元件生产制造的可用于中温、高温压力测量的科仪级高精度特种压力力传感器。由陶瓷厚膜、多晶硅技术制作的用于150℃以下的中温压力传感器CYG1300、1301;由SOI、SOS、SIMOX技术制作的用于300-650℃高温及1000℃瞬态高温的超高温压力传感器CYG1305、1306、1307,其中一些系列尚在开发与试产中。量程范围:...
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