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镜面全反射型弯曲波导的制作方法

2002年 应用技术
  • 成果简介
该发明的新颖性在于制作出了应用于集成光波导器件的定位准确，表面光亮的镜面，并和利用绝缘层上的硅材料制作的单模脊型波导一起形成了低损耗大弯曲角的弯曲波导；其创造性在于将硅微机械的加工工艺应用于硅基光波导器件的制作，巧妙地利用各种异性腐蚀中形成的高表面质量的晶面作为镜面；其实用性在于该结构可以应用于很多集成光波导器件如阵列波导光栅，光耦合器等的制作中，且工艺简单，成本低，制作的精度高，便于大批量生产。...
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