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溅射方法生长的硅基氧化锌薄膜的晶体结构和电学性质的研究

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本课题为山东省教育厅资助项目（编号03C08）氧化锌薄膜是一种n型半导体，由于其较大的光耦合系数，较低的温度系数和较小的介电常数，C轴取向的氧化锌具有较强的压电和压光效应，可以用作声电声光装置。另一方面，氧化锌还用于制备气体传感器，薄膜氧化锌在气体传感器上的应用具有相当大的前景。由于氧化锌薄膜制作工艺与集成电路工艺相容可与硅等多种半导体器件实现集成化，因而备受人们重视。ZnO薄膜以其性能多样、...
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