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高温功率器件用MBE碳化硅材料

2000年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　1.任务来源：国家“九五”重点科技公关计划
　　专题名称：高温功率器件用MBE碳化硅材料
　　专题编号： 97-763-03-02

　　2.技术原理和性能指标：
　　技术原理是利用MBE技术高洁净、易于进行原位监测和精确掺杂的优势和CVD外延快速生长这一主流技术，在自行改造的并兼有MBE和CVD系统双重优势的SiC生长设备上进行S...

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