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电容式水深浪高传感器

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本课题是国家“九五”重点科技攻关项目——传感技术研究子课题《电容式水深浪高传感器》。
本项目是一种微机械差动电容压力传感器。其原理是以N型<100>晶向单晶硅为基体，利用微机械加工技术和IC技术制成一种微型差动电容结构。当有流体加入传感器腔体时，其电容发生变化。并配有电容电压变换和放大电路。用单片机完成温度和非线性补偿及量程标定；由液晶直接显示压力或液位高度
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