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光盘用集成型光学头

1999年 应用技术
  • 成果简介
该成果在国内首先对光盘用光学头的集成化技术进行了研究。对于波导型集成光学头，确定了在硅衬底上制备由二氧化硅层、玻璃波导层和氮化硅覆盖层构成的光波导的工艺，制备出了符合折射率要求的光波导。采用全息干涉光刻法和离子束刻蚀技术在光波导上制作了等周期直线光栅，光栅周期约1微米，一级衍射效率达120%，可用作光栅输入输出耦合器。对于混合型集成光学头，在硅衬底上集成了两个三分割光电探测器和探测器放大电路，并粘...
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