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新型电子清洗剂DZ-1,DZ-2

2002年

应用技术

成果简介

该产品能有效地去除半导体、玻璃等表面的各种沾污，清洗效果略优于常规电子清洗工艺，可用于半导体器件和其它电子元器件的清洗。该产品粘度为10-160厘泊，pH值为3-9，有害杂质含量<1ppm，对半导体硅片清洗后C-V测量的结果为SiO_2层内可动电荷密度为10^(10)/cm^2。...

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