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磁敏元件及传感器系列产品

2002年 应用技术
  • 成果简介
InSb磁敏元件是使用量大面广的测量控制基础元件，中心在科技攻关的基础上，围绕市场需求进行了工程化研究开发工作，解决了一系列工艺问题。由于In和Sb的饱和蒸汽压相差几个数量级，而且蒸发温度相差悬殊，工程化工程中采取了一系列措施，将In和Sb的比例偏差控制在比较小的范围内，从而稳定了工艺和产品质量，使批量生产中的一级品率可以达到50%以上。同时，薄膜磁阻、强磁体磁敏元件的工程化工作也在顺利进行。该中...
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