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金刚石薄膜形成技术

2002年

应用技术

成果简介

技术内容：80年代以来国内外研究开发的金刚石薄膜气相合成法有热丝CVD法，直流或微波等离子体CVD法、等离子体喷镀、火焰法、电子回旋共振(ECR)法等。采用磁约束微波等离子体的ECR法具有可低压低温成膜的优点。该所研制的ECR装置由微波源、微波传输系统、谐振腔、放电室、成膜室、磁场线圈和送气、抽气系统以及电控柜组成，为卧式双室结构。基片竖直放置于可加正的或负的直流偏压且可加热和温控的基片座上，送入...

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