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微波等离子CVD沉积金刚石薄膜

2000年 应用技术
  • 成果简介
项目介绍：常规的高温高压方法制备的金刚石存在条件苛刻，设备投入高，金刚石质量不高等缺点。目前中国使用的金刚石刀具多为进口的聚晶(PCD)金刚石刀具或金刚石聚晶片(将人造金刚石微粒加粘合剂在高温高压下压成的金刚石复合片)，也有将金刚石聚晶片或金刚石厚膜通过烧结或焊接在切削工具和耐磨部件上的金刚石刀具，因为高温氧化或焊接原因，造成金刚石片脱落，这影响了金刚石切削工具和耐磨部件的使用质量，同时金刚石聚晶...
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