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微电子工艺设计的MS-PC实用化研究

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该项目为山东省科委立项课题，该成果在微电子集成工艺和半导体器件特性分析CAD系统的PC化平台开发上取得一系列成果。所完成的微电子工艺及器件PV WDZ CAD+CAI FOR CWINDOWS交互系统版本填补了国内空白。该成果还成功地完成了一系列实际命题的计算机模拟研究，主要有：实现了金属氧化物半导体场效应器件PMOS晶体管的栅氧工艺模拟及3CG180Si-PNP晶体管的单管全工序模拟；对金属氧化...

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