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硅单晶等效微重力生长的永磁模拟及控氧机理的研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目研究、设计、制造了独特的环形永磁体，形成了稳定磁场，且磁场强度、磁力线分布连续可调。同时设计了永磁体磁场分析计算机软件，能根据晶体生长需要，对磁体进行设计、计算。设计、制造了3″的永磁场直接硅单晶系统，获得了硅单晶不同氧含量的控制工艺。该成果利用永磁体，具有无水电消耗，无噪声干扰，节约能源，有利于降低运行成本和保护环境与生活的特点，具有良好的产业化前景。该成果达国际领先水平。...
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