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平面磁控溅射氧化铟锡卷绕镀制设备

2002年 应用技术
  • 成果简介
产品功能及应用领域：采用真空磁控溅射镀膜技术在聚酯薄膜(PET)膜上沉积氧化铟锡电致发光材料，生产柔性发光材料的设备，产品可用于生产液晶显示膜、电子元件以及其它发光器件，较传统平板显示器具有可塑性强、不易损坏、安全可靠的优点。技术特点：采用真空卷绕连续生产方式，平均一次生产500平方米ITO膜，成膜率达85%以上；采用平面磁控溅射生产工艺，镀膜室中设置了三个靶。与国内外同类产品比较：磁控溅射卷绕连...
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