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大面积双面高温超导薄膜材料研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
在大面积衬底两面沉积超导薄膜过程中，确定了靶与衬底之间的最佳距离，采用筒形钇钡铜氧靶有效地防止了负氧离子对衬底表面的轰击，保证了薄膜成份的均匀性。制备的筒形加热器可对衬底辐射加热，提供了一个适合的沉积温度，并在所需的时间内控温精确，且稳定不变，重复性好，这对制备大面积双面膜极为关键。制定了制备大面积双面膜的最佳工艺参数。在沉积双面膜时做到了工艺参数的精密控制、可调、重复性好。如沉积温度，溅射功率，...
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