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“微机械与微细加工技术”及其相关理论与方法研究

2005年 基础理论
  • 成果简介
微/纳米科学与技术已成为人们在微观领域认识和改造世界的一种高新技术，已经得到美国、日本、欧洲等国家的高度重视并被列为21世纪关键技术之一作为微/纳米技术研究的重要内容，微机电系统（Micro electro mechanical System，MEMS），也称微机械或微系统，以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征，是当前微/纳米科技中最具产业化前景的高新技术。在我国，微机电系统的研究已经...
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