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低温双极晶体管

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项研制的“三低三高”即低温、低噪声、低输入阻抗，高β和高可靠性的低温双极晶体管，作为光伏型碲镉汞(HgCdTe)光敏探测器低温前置放大器，是红外焦平面探测阵列的重要部件之一。技术原理及工艺流程：技术上两个特点：一是采用了三区(发射区，基区，集电区)低掺杂结构，减少因重掺杂引起的禁带变窄效应；二是采用了多晶硅电极接触结构。采用该种结构时，在工艺上严格控制以下三个问题：防止基区表面耗尽加强钝化措施，...
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