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高性能氮化铝和三氧化二铝电子陶瓷基板

2000年

应用技术

成果简介

采用二甲苯/无水乙醇作为溶剂的流延浆料体系，流延法生产96A1203陶瓷基板及高热导率氮氮化铝陶瓷基板，流延浆料体系对环境无污染；采用附30m长度干燥带的新型流延机生产陶瓷基板，可提高产品生产率及成品率；采用1650℃低温烧结流延法生产A1N陶瓷基板。用于混合集成电路HIC、片阻、网络；金属/陶瓷接合电路功率模块；聚焦电位器用96Al_2O_3陶瓷基板；陶瓷封装外壳用各种规格的氮化铝和96Al_2...

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