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高性能硅外延材料

2000年 应用技术
  • 成果简介
硅外延材料是在高温下通过化学汽相反应，在硅抛光单晶片上生长一层或多层晶格匹配的硅晶膜，通过控制生长条件，可以获得不同电阻率、不同厚度及不同导电类型的外延层。它是加工硅类器件的基础，主要应用于电子和信息行业的电力电子器件、二极管、三极管和集成电路等的制作(即为加工器件提供基片)。...
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