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金钢石薄膜电容器的研制技术

2000年 应用技术
  • 成果简介
本征金刚石薄膜电容具有高储能击穿电压耐高温化学稳定性利用CVD本征与掺杂交错制成多层金刚石薄膜电容，它的电容量可以达到很高项目，研究金刚石薄膜电容的制备Ⅰ-Ⅴ特性介电特性主要进行其电容量随其温度的变化。...
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