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高位移精度压电陶瓷微位移驱动器

2001年 应用技术
  • 成果简介
该压电微位移驱动器是由特种压电陶瓷制成，其电压-位移特性优良；线性好、滞后小、重复稳定，可加正负向电压对称利用正、负位移，控位精度高，主要性能达到了国际先进水平。主要技术指标：应变量±2×10^(-4)，工作电压<±1000V(由应用情形而定 )，滞后量2%，控位精度0.01-0.02m。推广应用前景与市场预测：可应用于精密光学、激光、通讯技术、大规模集成电路光刻等设备的精密定位、自动化控制。对某...
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