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化学气相沉积(CVD)金刚石膜片、拉丝模和切削刀具制品及成套生产技术

1999年

应用技术

成果简介

该项目用CVD(ChemicalVaporDdposition-化学气相沉积)的方法实现金刚石制备的大面积化、纯晶质化及低成本化，使金刚石具有接近天然金刚石的物理性质和完全相同的化学性质，广泛用于机械加工、声学、光学、电子学等领域。该项目在CVD金刚石膜的制备水平、工业化能力、工模具应用技术等方面已达到国内先进水平，可实现直径100mm，厚度0.3-2.5，高生长速率的工具级金刚石膜的稳定生产工艺...

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