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镀覆氮化碳工艺中添加稀土以全面提高镀覆稳定性的研究

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
简要技术说明
氮化碳是目前最先进的镀覆超硬材料，其硬度接近或超过金刚石的硬度，化学稳定性及热稳定性则比金刚石更优，具有广阔的应用前景，武汉大学在多弧等离子体镀覆氮化碳超硬薄膜方面做的部分前期实验工作已达到国际先进水平。本项目是在武汉大学工作基础之上，对多弧等离子体氮化碳镀覆靶材添加稀土，以提高氮化碳镀覆稳定性的研究。
应用前景
该...
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