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紫外激光光纤传导光学成像系统

2000年 应用技术
  • 成果简介
紫外激光光纤传导光学成像系统主要用于微电子学的图案的成形、精细钻孔、刻蚀、半导体的紫外掺杂和微米钻孔以及激光医学的血管成形术，心肌不融术和近视眼的角膜切开术。其主要指标：园班尺寸为27μm，线班尺寸为25.4μm×3300μm，光纤输出端能理为8.5mj，光纤耦合传输效率为11.7%。在国内首先把该基系统成功地用于角膜切开术和血管成形术。该成果达到80年代国际中后期水平。...
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