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微波等离子体和离子束薄膜沉积装置和技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目研究成功了一种新的微波等离子体产生方法，并建立了四台成膜装置，可用于制造有广泛应用前景的功能薄膜，如超导膜、高温半导体膜、高分子膜、金属膜等。已申请三项国家发明专利。多离子束反应共溅射成膜装置。新型微波等离子体产生方法和装置。电子辅助离子束成膜装置。多靶磁控溅射成膜装置。新型微波等离子体汽相沉积装置。多组元多心氧化物的制备方法。...
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