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低温大面积类金刚石碳膜制备技术

2001年

应用技术

成果简介

基体温度小于150度条件下，在等离子体环境下制备面积、与基体无界面的类金刚石碳膜，该膜层与基体之间有良好的结合力，面积可超过160000MM^2，硬度30-60GPA，摩擦系数大气环境下0.15，在真空下0.1，为良好的高硬度，低摩擦系数的表面膜，可作为零件、器件和耐磨减磨膜，是一种理想的固体润滑剂，可代替MOS_2使用。该技术已申请了国家专利。该技术可作为耐磨减摩固全润滑膜在大气、真空、低温环境...

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