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系列金属膜和金属氧化膜电阻器用溅射靶材

2001年 应用技术
  • 成果简介
九十年代初对溅射靶材进行了系统的研制，靶材的研制获得成功，并通过上海科委的鉴定。经查新检索，成果达到了国际先进水平。全国已有众多厂家全用并应用于国产名牌彩电等家电产品中。研制的靶材包括SJG型、SJZ型和SJD低阻。便于金属膜电阻器和金属氧化膜电阻。该靶材的制备有杉独特的真空冶炼工艺，与传统的的粉末冶金方法不同，靶材的成分设计时加入了微量元素来调节和控制溅射薄膜的性能，因此溅射生产出的电阻性能优越...
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