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多元等离于体基离子注入混合及多层复合膜技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
最新表面改性技术，它综合了流行的多种利用等离于体方法进行表面改性的先进技术，将磁控溅射离子镀、多弧离子镀及全方位离子注人技术结合在一起，形成一种新型的等离子体基表面改性技术，该已获国家发明专利。该装置可以根据表面工程技术的具体要求，在不破坏真空的情况下单独或同时进行离子镀或混子混合注入，如磁控溅射离子镀、多弧离子镀、全方位离子注入、等离子体化学热处理、高压脉冲辉光放电处理等。利用该装置可获得具有低...
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