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集成电路标准加工工艺技术

2001年

应用技术

成果简介

该成果完成了多种工艺模块和工艺工程技术的开发,形成多种工艺综合加工技术；完成全套0.8微米CMOS工艺的开发；优化了1.0微米、1.2微米工艺；形成0.8微米、1.0微米、1.2微米三代技术兼容的标准工艺加工技术并使其工程化，从而实现了三代技术兼容的标准工艺平台；完成在线PCM工艺重量监控及参数提取技术研究;完成了十七家单位30多个电路品种共5000多片的芯片加工服务；完成了4Mb MASK RO...

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