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超精密车床关键技术及装备

2001年 应用技术
  • 成果简介
1、该项目的最终成果是研制出一台5纳米分辨率的NAM-800大型超精密车床其主要技术指标如下：主轴回转精度：端面跳动：0.02μm；径向跳动：0.03μm；加工件最大直径：Φ800mm；最大加工件长度：400mm ；脉冲当量：0.005μm；导轨直线性：0.1μm/200mm； 定位精度：±0.1μm/100mm；加工件精度：1)表面粗糙度：Ra≤0.008μm；2)面形精度：≤0.5μm/Φ50...
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