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非接触式超精密圆柱密度仪

1999年 应用技术
  • 成果简介
该项目的主要技术特点：在传感器与测量系统、回转基准和直线基准系统中采用了亚纳米级数字快速鉴频技术，鉴相法误差分离技术、“大重力可调式”气浮轴承技术、回转基准一体化技术、自平稀式双气浮导轨Z向直线基准技术和基准间位置误差分离补偿技术 等。测量信息量大。一是可测量的参数多，如圆度、圆柱度、母线直线度、同心度、同轴度、垂直度等；二是测量信息完整，如可精确获取圆柱内外表面三维形状轮廓和空间位置轮廓，有利于...
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