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亚微米超精密车床

1998年 应用技术
  • 成果简介
该课题是主要针对解决新型惯性仪器超精加工而研制的亚微米车床。其中有七项关键技术：超精密空气主轴，关键件采用石材。主轴回转精度<0.1μm；床身与导轨采用花岗石材料，空气导轨直线度误差达到0.13μm/110mm；进给与微动刀架分辨率分别为0.01μm和0.0024μm；激光干涉检测系统采用光纤激光测量器，其分辨率达到0.01μm；恒温油淋 浇系统，温控精度达到±0.004℃；减隔振系统，其固有频率...
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