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检测监控基础技术研究(双频激光干涉测量基础技术)

1996年

应用技术

成果简介

研制出“用于孔径非接触检测的激光光纤测量系统”，用双频激光干涉测量装置读数，用光纤测头定位，实现了高精度的内尺寸测量，是国内外的首创。主要技术指标：测量分辩力0.1μm；测量精度：±μm；内尺寸测量范围：≥6mm；被测表面质量：(Ra)≤0.16μm；示值稳定性：±1mv/40分钟应用领域：制造自动化、精密测量、机电一体化工程。...

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