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软X射线光学技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
中国科学院长春光学精密机械研究所陈星旦研究员等，在国家自然科学基金(批准号：69138010)，发展了测定和计算软X射线超薄膜光学常数的方法；提出了多层膜设计的新方法和相应的软件；设计研制了两台专用氐膜设备，兼有离子束则射、在控油射、离子束清洗、加温、通火等功能，在计算机控制下，该设备可精确地镀制几丰层的软X射线多层膜，膜存监控精度好于0.1纳米。镀制的多层膜反射镜，对波长13纳米的软X射线反射率...
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