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用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明属于光电材料技术领域，其特征在于，用纯度不低于99.9%的氧化锌粉末与纯度不低于99.9%的氧化铝粉末或纯铝粉末相互混合均匀，烧结成密度不低于理论密度的94%的块体。本发明具有成分简单、经济、膜基附着力强，使用寿命长、性能好，镀膜不起斑点、耐蚀耐磨、色泽漂亮等特点。用于镀膜制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且ZAO薄膜在等离子体中稳定性好，是ITO的替代产品，尤其是在太阳能电池透明电...
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