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用于现代材料表面强化的多功能等离子体浸没离子注入装置

2004年 应用技术
  • 成果简介
等离子体浸没离子注入(PⅢ)是材料表面改性领域近期发展起来的一种高新技术，它克服传统束线离子注入的视线限制和保持剂量问题。我们研制的多功能PⅢ装置配置了多种等离子体源和溅射沉积系统，可以实现气体、金属离子的注入及其他多种综合表面处理技术，可使金属及其合金的耐磨性及耐蚀性获得大幅度提高。另外，采用该装置还可以对陶瓷、聚合物、半导体材料等进行表面改性处理，可以改变材料表面的光、电磁等特性。随着...
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