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牺牲层腐蚀仿真软件模块

2005年

应用技术

成果简介

“牺牲层腐蚀仿真软件模块”适用于WIN2000，WinXP操作系统。这是一个仿真牺牲层腐蚀过程的应用软件。软件自身提供了Thermal GrownSilicon、LPCVDLTO、LPCVDPSG三种不同牺牲层材料，以及HF、BHF、HF加HCl三种不同腐蚀液的仿真库。此外，软件还提供了根据用户在短时间内测得的三组实验数据输入界面。在任意温度和浓度条件下，对一些基本结构(Port、Bub...

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