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纳米多孔陶瓷薄膜

2004年 应用技术
  • 成果简介
纳米多孔氧化硅薄膜是通过将化学原料配制成的溶胶涂敷在一定的衬底材料上，进行干燥后制备而成。该产品由于具有高的孔隙率、大的比表面积，并且可在纳米多孔结构中组装各种功能性的纳米离子，可作为微电子金属互连的绝缘材料，航空、航天以及其他高温应用的隔热材料，高技术透光隔音材料、光学器件涂层材料等，应用于新型传感器、微电子和纳米电子元器件、膜分离、吸附、选择性催化等领域。
该产品技...
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