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面向MEMS的可靠性综合测试平台

2005年

应用技术

成果简介

对MEMS进行可靠性评价，需要对结构与封装材料的力学特性、热－机特性进行检测与分析建模。对上述不同参数的测试，除了离线测量外，还需要提供在线实时的检测功能，以及动静态特性测量。针对MEMS可靠性测试不同要求，上述的可靠性综合测试平台，提供了成套的测试设备与技术，从工艺力学模拟入手，可完成多种物理量测试，实现在线动态测量。主要设备包括：三维云纹干涉系统、微翘曲测量仪、冲击试验机、六轴微样品试...

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