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利用合成波长法实现纳米测量的方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种利用合成波长法实现纳米测量的方法，选择能够获得两个波长λ_1和λ_2的激光光源，并设计一个参考干涉仪，在参考干涉仪的偏振分光元件外侧放置一个测量镜，使测量干涉仪中测量镜的纳米位移△l_2代表被测位移，上述两个干涉仪的公共参考镜在合成波长量级的范围移动，则测量镜与参考镜之间的位移存在线性关系，即可完成了本发明的测量。
本发明的方法具有纳米量级的位移测量精度，...
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